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   芯片制造厂内的晶圆主要由两种,生产晶圆(PW:Product Wafer)非生产晶圆(NPW:None Product Wafer)

一、生产晶圆(PW) 


生产晶圆的一些关键特点:

  1. 高纯度硅材料:生产晶圆通常由纯度极高的硅单晶制成,以确保器件的性能和可靠性。
  2. 精确的几何尺寸:晶圆的直径和厚度有严格的标准,常见的直径有200mm(8英寸)、300mm(12英寸)等。
  3. 表面平整度:晶圆表面必须非常平整,以保证光刻等工艺的精度。
  4. 无缺陷:晶圆在生产过程中需要严格控制,以避免引入任何可能影响器件性能的缺陷。
  • 用于生产加工的Wafer,成品会销售至客户,主要分两种:

    1.Product Wafer :量产的产品

    2.Engineer Wafer:工程试产的产品

    二、非生产晶圆(NPW)


非生产晶圆通常不用于最终产品的制造,而是用于研发、测试、教学或其他非商业化目的。NPW包括以下几种类型:

  1. 测试晶圆:用于测试新的制造工艺、材料或设备,以评估其对器件性能的影响。
  2. 研发晶圆:在新技术开发阶段使用,帮助工程师优化设计和工艺流程。
  3. 教学晶圆:在教育和培训中使用,帮助学生理解半导体制造的基本概念和技术。
  4. 演示晶圆:用于展示特定技术或工艺的效果,可能不包含完整的集成电路。
  5. 报废晶圆:在生产过程中由于各种原因(如缺陷、测试失败等)被判定为不适合进一步加工的晶圆。

区别和联系

  • 用途:PW用于实际生产,而NPW用于研发、测试等非生产目的。
  • 成本:PW的生产成本通常更高,因为它们需要满足更严格的质量标准。
  • 质量控制:PW需要更严格的质量控制流程,以确保最终产品的性能和可靠性。
  • 材料:尽管PW和NPW都由硅制成,但PW的材料纯度和表面处理可能更为精细。

而用于监控,检测和填充的测试Wafer,仅厂内使用,不会销售给客户。主要分三种:

1.Monitor Wafer:控挡片。测机台健康状况,例如刻蚀速率、薄膜均匀度、颗粒之类。通常有Daily Monitor和随货Monitor,如果有问题则需对机台进行PM或修改Recipe参数等。

2.Season Wafer:暖机片。暖机的类别有很多,例如A Recipe切换到B Recipe就要暖机;还有机台超过Idle时间进行暖机;还有机台跑了太多的Wafer后进行暖机等.除了暖机还有冷机,例如切到某个Recipe后得等一段时间才能跑货。

3.Dummy Wafer:填充片。一般因为机台设备的特性,进行填充。例如用于炉管和ETCH的填充片。

http://www.ds6.com.cn/news/76216.html

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